Photo-optical step and repeat cameras Conventional Section: p. 201, 3.B.1.f.1
يُكشف فيه عن العطل في وحدة ملاحة تعمل بالقصور الذاتي في الطائرة عن طريق مؤشرات تصدر عن وحدة التحكم والعرض، أو عبر رسائل حالة تصدر عن النظام الفرعي المناظر.
Align and expose step and repeat (direct step on wafer) or step and scan (scanner) equipment for wafer processing using photo-optical or X-ray methods, having any of the following:
معدات التدريج والتكرار (التدريج المباشر على الرقاقة) أو التدريج والمسح (الماسحة) للتصفيف والتعريض الخاصة بمعالجة الرقائق باستعمال الطرق الصورية - الضوئية أو الأشعة السينية، والتي التي يتوافر فيها أي مما يلي:
