Tetrafluorsilan ist eine chemische Verbindung, die in industriellen Herstellungsprozessen verwendet wird.

Tetrafluorsilan wird üblicherweise durch die Reaktion von Silicium mit Fluor gewonnen.

Tetrafluorsilan ist ein farbloses Gas im Normalzustand.

Tetrafluorsilan gilt als eine gefährliche Chemikalie und sollte mit Vorsicht behandelt werden.

Die Eigenschaften von Tetrafluorsilan werden durch Temperatur und Druck beeinflusst.