Ionenimplantation wird oft in der Halbleiterindustrie verwendet.

Die Ionenimplantation ist eine Methode zur Erzeugung von Dotierungen in Festkörpern.

Durch die Ionenimplantation können die elektrischen Eigenschaften von Materialien geändert werden.

Bei der Ionenimplantation werden Ionen in fester Form in ein Substrat eingebracht.

Ionenimplantation ist ein wichtiger Prozess in der Mikroelektronik.

Gerät, das speziell für die Ionenimplantation bzw. für die mit Ionen oder Photonen verstärkte Diffusion entwickelt wurde und eine der folgenden Eigenschaften aufweist: